ProCeas®使用**的OFCEAS技术，基于萃取吸收光谱法原理。
技术原理
此项以激光技术为基础的检测方法，在能够满足检测亚ppb级杂质含量
含量的同时，能取得意想不到的高精度及重复性。ProCeas®采取低压取
样技术，内部分析压力低于100mbar绝压，此方法降低了检测所需的进
样量，以保证取得正确的检测结果并优化了分析仪的响应时间。